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 1959年，Richard P Feynman(1965年諾貝爾物理獎(jiǎng)獲得者)就提出了微型機(jī)械的設(shè)想。1962年一個(gè)硅微型壓力傳感器問(wèn)世，其后開發(fā)出尺寸為50～500μm的齒輪、齒輪泵、氣動(dòng)渦輪及聯(lián)接件等微機(jī)械。1965年，斯坦福大學(xué)研制出硅腦電極探針，后來(lái)又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校研制出轉(zhuǎn)子直徑為60～12μm的利用硅微型靜電機(jī)，即墨精密研磨，顯示出利用硅微加工工藝制造小可動(dòng)結(jié)構(gòu)并與集成電路兼容以制造微小系統(tǒng)的潛力。

由于加工技術(shù)水平的發(fā)展，哪里有精密研磨，超精密加工劃分的界限逐漸向前推移，精密研磨加工，但在具體數(shù)值上沒(méi)有固定的界定

超精密加工的影響因素很多，精密研磨工具，只有廣泛研究和綜合采用各種新技術(shù)，并在各方面精益求精，才能突破目前常規(guī)加工技術(shù)不能達(dá)到的精度界限。實(shí)現(xiàn)超精密切削加工的條件主要包括超精密加工機(jī)床、超精密切削刀具、超精密加工環(huán)境、超精密加工的工件材質(zhì)、超精密加工用夾具和超精密測(cè)控技術(shù)等多項(xiàng)技術(shù)。超精密加工技術(shù)實(shí)際上就是這些技術(shù)的綜合應(yīng)用?，F(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以試驗(yàn)為基礎(chǔ)，所需試驗(yàn)儀器和設(shè)備幾乎無(wú)一不需要超精密加工技術(shù)的支撐。

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